对硅/玻璃阳极键合进行了实验技术研究,阐述了实验设计思路;确定了实验的内容和方法,据此研制出能直观显示硅/玻璃界面键合情况以及键合电流-时间曲线的多功能键合实验仪。通过键合操作、现象观察和深入分析,使学生更加深入了解键合机理、掌握影响键合效果与效率的主要因素。该实验技术有助于提升学生的动手能力、分析能力以及综合素质。 离子耗尽层（也称空间电荷区），而硅在超过３００℃时的本征电离使得导电性能与金属相当，因此在与玻璃接触的硅片表面感应出带正电荷的Ｓｉ＋离子。这样在硅／玻璃界面存在较大的静电引力，使二者紧密接触。与此同时，在硅－玻璃界面会发生如下电化学反应：Ｓｉ＋＋Ｏ－－Ｓｉ→Ｓｉ—Ｏ—ＳｉＳｉ＋＋ＯＨ－→Ｓｉ—ＯＨＳｉ—ＯＨ＋ＨＯ—Ｓｉ→Ｓｉ—Ｏ—Ｓｉ＋Ｈ２Ｏ形成的Ｓｉ—Ｏ和Ｓｉ—ＯＨ使硅和玻璃牢固地结合为一体，如图１所示。图在教学中的应用-电动折弯机数控滚圆机滚弧机折弯机张家港电动倒角机液压倒角机１阳极键合机理示意图阳极键合本质上就是电致化学过程，是在电场作用下，在硅／玻璃两种材料界面形成化学键的加工技术。所以， 本文有公司网站全自动倒角机采集转载中国知网整理，http://www.daojiaoj.com  阳极键合又被称为静电键合或场助键合。在键合过程中硅／玻璃界面阴、阳离子的结合（形成Ｏ—Ｓｉ、Ｓｉ—ＯＨ）是键合电流的主体，而且是随着键合时间而变化的。图２为键合电流密度ρ与时间ｔ关系曲线，电流密度从零瞬间上升到最大值，然后快速下降，逐渐降速变缓，直至基本不变化。整个键合过程只几分钟甚至几十秒就已完成。键合电流的变化趋势可以适时地反映出阳极键合的进程。图２硅／玻璃阳极键合电流密度－时间曲线为加深学生对阳极键合本质是电化学反应过程的理解，基于阳极键合机理设计的实验应能充分展示键合过程中硅／玻璃界面的变化，以及与之对应的键合电流的变化（ρ－ｔ曲线）。而且，实验应涵盖在不同键合电压、温度等工艺条件下，以及不同样品表面情况时，进行键合实验的内容。使学生通过观察、记录、分析键合界面现象及ρ－ｔ曲线特点，了解影响阳极键合的主要因素，掌握具体的键合操作方法，从而提升学在教学中的应用-电动折弯机数控滚圆机滚弧机折弯机张家港电动倒角机液压倒角机 本文有公司网站全自动倒角机采集转载中国知网整理，http://www.daojiaoj.com